一种气电协同的大面积纳米压印光刻方法

摘要

一种气电协同的大面积纳米压印光刻方法，采用柔性复合模具作为压印模板，柔性复合模具被气路划分了几个子区域。从一侧开始，边缘的一个子区域，伴随气路由真空向大气压的切换，在外加电场力的作用下，该子区域与衬底保形接触，并同时实现纳米级结构的完全填充；依次改变气路状态，子区域也依次与衬底接触，最终实现纳米结构转移，本发明尤其适用于晶圆级翘曲衬底，而且压印光刻机结构简单，不同种类压印胶适应性强，同时可满足大深宽比纳米结构的制造。