一种延迟线型声表面波传感器阵列

摘要

本发明公开了一种延迟线型声表面波传感器阵列，包括：至少两个延迟线型声表面波传感器；每个延迟线型声表面波传感器包括：压电基底；叉指换能器，设置于压电基底上；反射栅组，设置于压电基底上，且位于叉指换能器的一侧；反射栅组和叉指换能器之间具有第一间距；其中，任意两个延迟线型声表面波传感器中的第一间距不相等；任意两个延迟线型声表面波传感器中的压电基底和反射栅组相同。本发明实现了并行传感(敏感)，且读取速度快。具有标定简单的优点。另外，阵列中各延迟线型声表面波传感器的反射栅时延信息互相作为参考，可以有效消除空间环境的干扰，大大提高了抗干扰能力。