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基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器

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摘要

本发明公开了一种基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，包括框型基座，所述框型基座上的四条边分别通过横梁连接环形连接体，所述环形连接体上安装球形拾振单元，所述球形拾振单元的密度为1g/cm

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1. 基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器 [P] . 中国专利： CN107063430B . 2019.05.10
2. 基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器 [P] . 中国专利： CN106706108A . 2017-05-24
3. MEMS MEMS piezoresistive pressure sensor and method for manufacturing the same [P] . KR102297944B1 . 2021-09-02

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