法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-07
授权
授权
2017-06-20
专利申请权的转移 IPC(主分类):C09G1/02 登记生效日:20170601 变更前: 变更后: 申请日:20160125
专利申请权、专利权的转移
2017-06-20
专利申请权的转移 IPC(主分类):C09G 1/02 登记生效日:20170601 变更前: 变更后: 申请日:20160125
专利申请权、专利权的转移
2016-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C09G1/02 申请日:20160125
实质审查的生效
2016-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20160125
实质审查的生效
2016-11-09
公开
公开
2016-11-09
公开
公开
查看全部
机译: 表面活性剂浆料添加剂,用于在低k电介质的铜镶嵌化学机械抛光过程中改善腐蚀,凹陷和缺陷
机译: 表面活性剂浆料添加剂,可在化学机械抛光具有低K介电常数的铜镶嵌金属时改善腐蚀,凹陷和缺陷
机译: 局部合金化以防止化学机械抛光(CMP)过程中的铜凹陷