由石英玻璃制成的、用于在ArF准分子激光光刻中使用的光学部件以及用于制造该部件的方法

摘要

本发明基于一种由合成石英玻璃制成的光学部件，所述光学部件用在借助193nm的应用波长的ArF准分子激光光刻中，所述光学部件具有基本上无氧缺陷位置的玻璃结构、具有在0.1x10¹⁶个分子/cm³至1.0x10¹⁸个分子/cm³的范围内的氢含量并且具有少于2x10¹⁷个分子/cm³的SiH基含量和具有在0.1wt.ppm和100wt.ppm之间范围内的羟基含量，其中玻璃结构具有小于1070℃的假定温度。为了基于在633nm的测量波长的情况下压实行为的测量在使用应用波长的UV激光辐射的情况下能够实现关于压实行为的可靠预测，提出光学部件的一种构型，其中，所述部件对利用波长为193nm、具有5x10⁹个具有脉冲宽度为125ns并且能量密度分别为500µJ/cm²以及脉冲重复频率为2000Hz的脉冲的辐射的照射以激光诱导的折射率变化做出反应，所述折射率变化的量值在借助193nm的应用波长进行测量的情况下得出第一测量值M_193nm并且在借助633nm的测量波长进行测量的情况下得出第二测量值M_633nm，其中适用：M_193nm/M_633nm<1.7。