光学元件运动学支撑装置、投影物镜和光刻机

摘要

本发明提供一种光学元件运动学支撑装置，包括：镜框，三组支撑脚，沿着所述镜框的圆周方向分别安装于所述镜框上，每组支撑脚约束两个自由度的位移；其中，所述光学元件固定于所述支撑脚内，所述支撑脚约束所述光学元件，可以同时实现六个自由度精确约束特别适用于高面形精度的光学元件无应力支撑，可以满足光刻物镜环境波动时的高精度支撑面形需求，有效提高了光学元件支撑面形精度。相应地，本发明提供了具有上述的光学元件运动学支撑装置的投影物镜及光刻机。