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倪明阳; 巩岩;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
光刻; 投影物镜; 运动学支撑; 柔度; 面形;
机译:浸入光刻:浸没屏障与投影仪的最终光学元件之间的振动隔离
机译:使用学习系统增强的缺陷检测能力,适用于具有投影电子显微镜光学元件的极紫外光刻掩模检测工具
机译:设计11纳米极紫外光刻节点的投影物镜
机译:大型二元光学元件在微光刻高分辨率投影光学中的应用
机译:optical逝波辅助特性用于光学投影光刻。
机译:利用激光投影系统通过高速视频对人声运动学进行三维光学重建
机译:<标题> EUV光刻环形投影光学元件的新型冷凝器标题>
机译:使用全息光学元件的投影X射线光刻的可能性。
机译:包括光学元件及其支撑物的光学系统,该光学元件及其支撑物可用于微光刻中的投影物镜,该光学系统具有光学元件表面的镍或硬质材料涂层以及由折射晶体材料构成的光学元件
机译:用于euv波长范围的反射光学元件,这种元件的生成和校正方法,具有这种元件的微光刻投影物镜以及具有这种投影物镜的微光刻投影曝光系统
机译:用于半导体光刻的半导体投影曝光系统的光学组件,具有通过机械支撑单元安装在支撑结构中的光学元件,其中附加的传热单元从光学元件中除去热量
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