法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-25
专利权的转移 IPC(主分类):C23C16/24 登记生效日:20200205 变更前: 变更后: 申请日:20160921
专利申请权、专利权的转移
2019-04-05
授权
授权
2019-04-05
授权
授权
2017-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/24 申请日:20160921
实质审查的生效
2017-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/24 申请日:20160921
实质审查的生效
2017-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/24 申请日:20160921
实质审查的生效
2017-01-04
公开
公开
2017-01-04
公开
公开
2017-01-04
公开
公开
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机译: 用于等离子体氧化恢复方法和动植物生长促进方法的等离子体产生装置,以及使用该等离子体产生装置的动植物生长促进方法
机译: 等离子体处理装置及使用该等离子体处理装置的非晶硅薄膜的制造方法
机译: 等离子体处理装置及使用该等离子体处理装置的非晶硅薄膜的制造方法