具有单驱动模式的多感测轴MEMS陀螺仪

摘要

本发明涉及具有单驱动模式的多感测轴MEMS陀螺仪。陀螺仪包括沿着第一轴被驱动进入第一驱动运动的第一驱动块，所述第一驱动运动响应于陀螺仪的旋转而生成了第一感测块的第一感测运动。所述陀螺仪还包括沿着横向于所述第一轴的第二轴被驱动进入第二驱动运动的第二驱动块。所述第二驱动运动响应于陀螺仪的旋转而生成了第二感测块的第二感测运动。驱动弹簧系统将所述两个驱动块互连以耦合第一驱动运动和第二驱动运动，使得可以实现单驱动模式。每个感测块的感测运动沿着第三轴，其中所述第三轴横向于其它轴。所述感测运动是平移运动，使得所述感测块保持平行于所述衬底的所述表面。