公开/公告号CN106053881B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201610703474.1
申请日2016-08-22
分类号
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人余明伟
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 10:27:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-01
授权
授权
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/08 申请日:20160822
实质审查的生效
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/08 申请日:20160822
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
2016-10-26
公开
公开
机译: 单芯片三轴加速度计
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