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包含动态强度补偿功能的色彩范围传感器

摘要

提供了一种色点传感器(CPS)系统,其对因为当利用不同功率水平驱动CPS照明源时产生的输入频谱分布强度不一致性导致的潜在误差进行补偿。该CPS系统包含:光笔,包括共焦光路,该共焦光路包含色散元件并且配置为以接近要测量的工件表面的不同距离聚焦不同波长;照明源;以及CPS电子器件。该CPS电子器件包含:照明源控制部,配置为利用不同功率水平驱动照明源;CPS波长检测器,包括沿着CPS波长检测器的测量轴分布的多个像素,以提供输出频谱分布数据;以及功率水平频谱补偿部,配置为补偿输出频谱分布数据,以消除或者减小因为当利用不同功率水平驱动CPS照明源时产生的输入频谱分布强度不一致性导致的潜在误差。

著录项

  • 公开/公告号CN106338247B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-02-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社三丰;

    申请/专利号CN201610525935.0

  • 发明设计人 A.M.帕茨瓦尔德;D.W.塞斯科;

    申请日2016-07-06

  • 分类号G01B11/02(20060101);

  • 代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人邸万奎;励晓林

  • 地址 日本神奈川县

  • 入库时间 2022-08-23 10:26:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-02-15

    授权

    授权

  • 2017-02-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/02 申请日:20160706

    实质审查的生效

  • 2017-02-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20160706

    实质审查的生效

  • 2017-01-18

    公开

    公开

  • 2017-01-18

    公开

    公开

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