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1 绪 论
2 具有声能补偿功能的薄膜体声波生化传感器工作原理
3 薄膜体声波生化传感器的结构与版图设计
4 薄膜体声波生化传感器加工工艺与性能测试
5 总结与展望
致 谢
参考文献
附 录 作者在攻读学位期间发表的论文目录
杨志周;
重庆大学;
薄膜体声波谐振器; 生化传感器; 声能补偿; 品质因子; 加工工艺;
机译:通过优化结构设计来改善声学液体传感器的声能调节和品质因数
机译:基于ZnO薄膜的基于体声波谐振器的薄膜相对湿度传感器
机译:薄膜结构设计光纤型磁传感器使用磁性表面等离子体效应
机译:薄膜体声波谐振器(FBAR)的结构制造工艺研究
机译:散装声波器件利用氧化锌薄膜薄膜数字传感器。
机译:用于高灵敏度柔性表面声波温度传感器的双压电晶片材料/结构设计
机译:P1.0.2基于β-Ga2O3薄膜的氢气传感器,具有自温补偿功能
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)
机译:压电声薄膜谐振器用作生物传感器的薄膜体声波谐振器具有压电陶瓷层,该压电陶瓷层具有压电陶瓷材料,其极性晶体轴相对于基板法线倾斜大约特定的倾斜角度
机译:用于加工或产生化妆品等扁平产品的破碎线的装置,具有与超声波超声焊机一起执行加工运动的加工工具,其中片材产品通过机加工运动而部分分裂
机译:用于压花和印刷用于包装的薄膜层的超声波发生器具有带有压花表面的端面,该压花表面利用声能对至少一个侧壁进行压花。
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