一种大范围原子力显微镜扫描定位系统

摘要

本发明公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位系统。本发明中的被观测样品置于立方镜载物台的中心，AFM7自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。本发明压电陶瓷采用锁相环回路步进驱动，从测量和驱动方法上克服了压电陶瓷自身非线性和蠕变等机械缺陷，从而解决了AFM扫描图像畸变的问题。