一种适用于原子力显微镜的大范围柔性结构扫描器

摘要

本发明公开了一种适用于原子力显微镜的大范围柔性结构扫描器，该扫描器包括有解耦合平台、二维定位平台、基板、高度补偿平台、试样台、X轴向位移组件、Y轴向位移组件、X轴向驱动组件和Y轴向驱动组件；X轴向位移组件与X轴向驱动组件相对放置固定在基板的两边；Y轴向位移组件与Y轴向驱动组件相对放置固定在基板的另两边；高度补偿平台固定在基板中间，高度补偿平台上固定有二维定位平台，二维定位平台的一支臂上固定有解耦合平台，试样台固定在二维定位平台的B连接块上。本发明设计的扫描器能够实现1mm以上的行程，并且能够使扫描精度达到纳米级。