共焦白光偏振干涉的多层透明介质厚度测量装置和方法

摘要

本发明属于白光干涉测厚领域，并公开了共焦白光偏振干涉的多层透明介质厚度测量装置和方法。包括被测物、第三透镜、第二透镜、第二小孔构成共焦结构，平行白光经第二棱镜后，一束作为测量光束经第三透镜汇聚到被测表面，另一束作为参考光束经过多次反射后与从被测表面反射回来的测量光束发生干涉，在第二棱镜和第二透镜之间设置提高干涉条纹的对比度的可旋转偏振片，实现在第一图像传感器上形成高对比度干涉条纹。本发明还公开了利用上述装置进行测量的方法。通过本发明，采用参考光束和测量光束在横向微小的偏离量，同时利用共焦和白光干涉技术，简单快速地形成了有限宽度的白光干涉条纹，从而实现了多层透明介质厚度的测量。