White-light interferometry; transparent film; reflectometry; thickness measurement;
机译:白光扫描干涉法测量透明薄膜层的厚度轮廓
机译:透明薄膜的光谱分辨相移干涉法:厚度测量的灵敏度
机译:透明薄膜的光谱分辨相移干涉法:厚度测量的灵敏度
机译:用白光干涉法测量透明膜的厚度
机译:光学干涉法测量轴对称拉伸中润滑剂薄膜的厚度
机译:近轴自参考干涉法测量透明液膜的厚度
机译:通过使用白光干涉测量法同时测量薄膜覆盖物体的膜厚度和表面轮廓
机译:采用部分相干干涉法测量硅薄膜厚度