白光干涉测量系统纵向采样误差校正算法研究

目录

声明

摘要

第一章绪论

1．1课题研究背景与意义

1．2白光干涉显微技术发展历程

1．3国内外发展现状

1．4论文主要内容

第二章白光干涉原理

2．1白光干涉原理

2．2信号对比度

2．3三维形貌恢复算法

2．3．1重心法

2．3．2傅里叶变换法

2．3．3希尔伯特变换法

2．3．4小波变换法

2．3．5相移算法

2．3．6空间频域法

2．4本章小结

第三章白光干涉测量纵向采样误差仿真分析

3．1基于小波变换的白光干涉信号漏采样问题校正

3．1．1漏采样问题

3．1．2干涉信号纵向漏采样校正算法

3．1．3理论仿真

3．2基于Hilbert变换的白光干涉信号非均匀采样问题校正

3．2．1非均匀采样问题

3．2．2干涉信号纵向非均匀采样校正算法

3．2．3理论仿真

3．3本章小结

第四章白光干涉测量纵向采样误差校正实验及数据分析

4．1．1白光干涉测量系统

4．1．2待测样品

4．2基于小波变换的白光干涉信号漏采样校正算法

4．3基于Hilbert变换的非均匀采样校正算法

4．4本章小结

5．1本文工作总结

5．2本文的创新点

5．3本文不足与展望

参考文献

致谢

攻读学位期间的学术成果