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机译:通过使用白光干涉测量法同时测量薄膜覆盖物体的膜厚度和表面轮廓
Hidemitsu OGAWA; Ken-ichi SHIMOYAMA; Masakazu FUKUNAGA; Katsuichi KITAGAWA; Masashi SUGIYAMA;
机译:高精度同时测量表面轮廓和薄膜厚度使用线路白光色散干涉仪
机译:基于小波变换在光谱分辨的白光干扰法中快速可靠地测量薄膜厚度曲线
机译:白光扫描干涉法测量透明薄膜层的厚度轮廓
机译:使用白光干涉仪同时测量薄膜表面形貌和厚度变化
机译:光学干涉法测量轴对称拉伸中润滑剂薄膜的厚度
机译:近轴自参考干涉法测量透明液膜的厚度
机译:单色光干涉测量同时测量薄膜覆盖物体的膜厚度和表面轮廓
机译:3用白光扫描干涉法测量透明介质薄膜的三维厚度轮廓的方法和装置
机译:白光扫描和相移干涉术相结合的表面轮廓测量
机译:基于分光反射法的色散白光干涉法测量薄膜层厚度轮廓的方法
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