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基于白光反射光谱的薄膜厚度测量

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利用热生长法在单晶硅(100面)表面制备了不同厚度的SiO2薄膜,用白光反射光谱测量了所制备的薄膜的厚度,并将测量结果与椭偏仪测量结果进行了比较.

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来源
《陕西省物理学会2016年学术年会》|2016年|96-98|共3页
会议地点西安
作者
Wang Hongli; 王红理; Zhang Junwu; 张俊武; Feng Yu; 冯宇; Sun Mingzhu; 孙明珠; Wang Xuedong; 王雪冬;
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作者单位

陕西省物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
二氧化硅薄膜; 厚度测量; 白光反射光谱;
入库时间 2022-08-17 11:22:44

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