基板角度对准装置、基板角度对准方法及基板运送方法

摘要

角度对准装置（3）包括将多个基板（100）的每个以横放的状态在上下方向并列地保持的多个保持部（10A～E）、包含多个第一支持部（11A～E）的第一升降体（21A～E）、以及包含多个第二支持部（12A～E）的第二升降体（22A～E）。在依次选择基板的同时重复进行如下一系列的角度对准动作：使多个保持部（10A～E）一体旋转而对选择的一片基板（100）进行角度对准，使与角度对准完的基板（100）对应的第一支持部（11A～E）上升并用该第一支持部（11A～E）抬起该基板（100）。使多个第二支持部（12A～E）一起上升，支持在多个第一支持部（11A～E）的每个上的角度对准完毕的多片基板（100Z）的每个由多个第二支持部（12A～E）的每个抬起。