ガラス基板上のc軸配向FePt膜のキュリー点制御とMgOテンプレートによる作製法

摘要

FePt規則化合金は，次世代記録媒体，特に熱アシスト磁気記録媒体およびビットパターン媒体の候補として研究が行われている．本研究では熱アシスト磁気記録媒体を目指したFePt(Cu)規則化合金薄膜のキュリー点制御性と，将来的な自己組織化パターン媒体を目指したMgOテンプレートによるFePt作製法について報告する．キュリー点制御に関しては，FePtに第三元素として添加するCuの量を調整することにより，結果として150°Cから250°Cまでキュリー温度を制御することに成功した．MgOテンプレートによるFePt作製については，反応性スパッタリングによって作製したMgO(100)/Fe(100)優先配向膜を加熱することによってMgO層の下にあるFeがMgO中に拡散して表面に顕在することを示し，さらにそれを利用してFePt系規則化合金膜を作製することに成功した．