ガラス基板上のc軸配向FePt膜のキュリー点制御とMgOテンプレートによる作製法

摘要

FePt規則化合金は，次世代記録媒体，特に勲アシスト磁気記録媒体およびピットパターン媒体の候補として研究が行われている．本研究では熱アシスト磁気記録媒体を目指したFePt（Cu）規則化合金薄膜のキュリー点制御性と，将来的な自己組織化パターン媒体を目指したMgOテンプレートによるFePt作製法について報告する．キュリー点制御に関しては，FePtに第三元素として添加するCuの量を調整することにより，結果として150℃から250℃までキュリー温度を制御することに成功した．MgOテンプレートによるFePt作製については，反応性スパッタリングによって作製したMgO（100)/Fe（100）優先配向膜を加熱することによってMgO層の下にあるFeがMgO中に拡散して表面に顕在することを示し，さらにそれを利用してFePt系規則化合金膜を作製することに成功した．%FePt ordered alloy with (001) preferential orientation is a hopeful candidate as a next-generation high density magnetic recording medium, especially, heat assisted magnetic recording medium and bit patterned medium. In this report, the controllability of FePt(Cu) ordered alloy thin films as the heat assisted magnetic recording media and fabrication method of FePt ordered alloy using MgO (100) preferential orientated films as the future self-assembly patterned media were investigated. It is possible to control Curie temperature from 150 ℃ to 250 ℃ by changing the amount of Cu in FePt(Cu) films. In the fabrication method of FePt using MgO (100) oriented films, It was confirmed that Fe atoms in the Fe layer beneath the MgO layer diffuses up to MgO surface by heating MgO(100)/Fe(100) films prepared with reactive sputtering. Besides, using this experimental results, we succeeded in fabricating FePt(Cu) ordered alloy films.