公开/公告号CN105720014B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-30
原文格式PDF
申请/专利权人 现代奥特劳恩株式会社;
申请/专利号CN201510888136.5
申请日2015-12-07
分类号
代理机构北京品源专利代理有限公司;
代理人吕琳
地址 韩国京畿道城南市
入库时间 2022-08-23 10:21:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-30
授权
授权
2016-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/98 申请日:20151207
实质审查的生效
2016-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/98 申请日:20151207
实质审查的生效
2016-06-29
公开
公开
2016-06-29
公开
公开
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