半導体製造装置用組み込みコントローラ＜リアルタイム性とオープン指向を重視したコントローラ“e-RT3”＞

摘要

“e-RT3”シリーズは、PLC（Programmable Logic Controller）のハードウェア·アーキテクチャとボードコンピュータのソフトウェア·アーキテクチャを融合させた4、型汎用コントローラで、リアルタイム性とオープン指向を重視している。