首页> 中国专利> 一种原子级平整Sr/Si(100)-2×3再构表面的制备方法

一种原子级平整Sr/Si(100)-2×3再构表面的制备方法

摘要

本发明公开了一种原子级平整Sr/Si(100)‑2×3再构表面的制备方法,属于纳米领域。本发明的一种原子级平整Sr/Si(100)‑2×3再构表面的制备方法,以单晶硅(100)片为衬底,其步骤为:1)衬底清洗;2)去除衬底表面氧化硅,同时制备出Si(100)‑2×1再构表面;3)在具有Si(100)‑2×1再构表面的衬底上制备亚单层金属锶薄膜;4)制备原子级平整Sr/Si(100)‑2×3再构表面。本发明步骤简单,操作方便,获得原子级平整的Sr/Si(100)‑2×3再构表面,并能精确确定Sr/Si(100)‑2×3再构表面上锶的覆盖度为1/6个单原子层。

著录项

  • 公开/公告号CN106399929B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-10-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 常州工学院;

    申请/专利号CN201610860393.2

  • 发明设计人 杜文汉;杨景景;熊超;朱锡芳;

    申请日2016-09-28

  • 分类号

  • 代理机构南京知识律师事务所;

  • 代理人高桂珍

  • 地址 213022 江苏省常州市新北区巫山路1号

  • 入库时间 2022-08-23 10:19:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-10-30

    授权

    授权

  • 2017-03-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/02 申请日:20160928

    实质审查的生效

  • 2017-03-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/02 申请日:20160928

    实质审查的生效

  • 2017-02-15

    公开

    公开

  • 2017-02-15

    公开

    公开

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