基于扫描探针显微镜的微/纳米热电原位探测装置及探测方法

摘要

本发明提供了一种基于扫描探针显微镜的微/纳米热电原位探测装置。该装置系统采用具有导电、导热性的探针，能够提供样品的表面形貌探测、电信号探测以及热信号探测模式，通过控制探针的位移或振动轨迹，能够原位、同步、实时地探测样品的电、热性能。因此，该装置克服了现有扫描探针显微镜仅具有电或热信号的单一探测功能的局限性；同时，能够原位、同步、实时地探测材料的温度与热导分布、电性能及其动态演化过程，从而直观地研究材料的磁‑热之间的耦合规律与机制，有助于降低微/纳器件的功耗，提高其稳定性和集成度，大大推进微/纳尺度热科学的发展。