用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片

摘要

本发明提供了一种用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片。酸性制绒液包括：铜离子源，用于提供浓度为0.1mmol/L～25.0mmol/L的铜离子；氟离子源，用于提供浓度为0.5mol/L～10.0mol/L的氟离子；浓度为0.1mol/L～5.0mol/L的氧化剂，能够将硅片中的硅氧化为氧化硅和将铜氧化为铜离子。采用上述酸性制绒液可以较好地对硅片表面制绒，进而在室温条件下和极短时间内在硅片表面上形成独立、完整且紧密排布的正金字塔结构绒面结构，其表面反射率在10％～25％之间，与大工业生产中所采用的碱制绒获得的硅片表面的金字塔绒面结构相差不大。本发明所使用的酸性制绒液和制绒方法能够减少生产成本，降低反应温度，缩短反应时间，增加生产产能。