首页> 中国专利> 基于金刚线切割的硅片的制绒方法、硅片制绒品及硅片制绒预处理液

基于金刚线切割的硅片的制绒方法、硅片制绒品及硅片制绒预处理液

摘要

本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法,其包括如下步骤:a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂混合得到预处理液,所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种;b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理;c将经过预处理的硅片置于氢氟酸硝酸制绒液中进行制绒处理。本发明还提供一种基于金刚线切割的硅片制绒品以及硅片制绒预处理液。

著录项

  • 公开/公告号CN104962999A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-10-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201510403859.1

  • 申请日2015-07-08

  • 分类号C30B33/10(20060101);

  • 代理机构北京中政联科专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人郭晓华

  • 地址 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号

  • 入库时间 2023-12-18 11:14:22

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-08

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20151007 申请日:20150708

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2015-11-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B33/10 申请日:20150708

    实质审查的生效

  • 2015-10-07

    公开

    公开

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