多晶硅片单面制绒工艺的研究

摘要

介绍了一种新的多晶硅片单面制绒工艺,通过对太阳能多晶硅链式制绒设备进行改造,使制绒槽内的硅片由浸没式腐蚀制绒改为漂浮式腐蚀制绒,同时利用喷淋方式去除硅片背面的损伤层,可有效避免硅片背面的过度腐蚀.通过选定相同条件下的多晶硅原料片,并进行严格均分,分别采用单面制绒工艺与产线常规双面制绒工艺进行制绒,其他工序采用相同设备及工艺配方,测试制绒后硅片的减重、反射率及SEM微观结构,对比分析不同制绒工艺对硅片的影响.结果表明,多晶硅片采用单面制绒工艺后硅片减薄、反射率降低,且采用该工艺制备的太阳电池的转换效率提升了0.03％.