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金刚石切割多晶硅片气相刻蚀制绒技术及其电池应用研究进展

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金刚线切割多晶硅片常规酸性湿法制绒问题减反射效果不足切割纹依然可见VE制绒技术研发进展简介机理:蒸气凝结微液滴刻蚀(Semiconductor Sci.Tech.2016,Mater.Sci.Semiconductor Process,2016)控制条件:基本掌握开发路线:单片→500片/hr→3000片/hr计划一年完成.目前完成单片装置和初步实验

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来源
《第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会》|2016年|1-15|共15页
会议地点浙江嘉兴
作者
肖志刚; 岳之浩; 陈文浩; 李妙; 周浪; 金善明; 宫龙飞; 阮文娟; 吉鑫; 李鹏鲲;
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作者单位

中国可再生能源学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类晶体机械加工;
关键词
多晶硅片; 切割工艺; 金刚线; 酸性湿法制绒;
入库时间 2022-08-17 11:14:40

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