原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置和方法

摘要

本发明涉及原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置和方法，该装置包括：激光器输出光的前方安置起偏器，起偏器出射的偏振光经过前方的光路上安置～光偏振调制器，输出光路上安置一电光调制器件，经过调制的输出光入射外延室窗口后，入射到被探测的外延基片表面，经外延层膜表面反射后的光从外延室窗口输出，通过检偏器后输出到探测器，探测器、放大器和数据采集处理系统电联接。该装置独立于制膜系统外，不受制膜温度和气压等条件的限制。该方法能同时获得基频和倍频两路信号，可探测原胞层状外延生长的信息，具有应用面广、获取信息多、操作简便等特点，是用于监控薄膜层状外延生长和研究成膜机理的有力工具。