公开/公告号CN106313041B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-25
原文格式PDF
申请/专利权人 山东中清智能科技股份有限公司;
申请/专利号CN201610625294.6
申请日2016-08-03
分类号B25J9/16(20060101);B25J19/02(20060101);G01C11/00(20060101);B25J11/00(20060101);
代理机构
代理人
地址 264205 山东省威海经济技术开发区东风路-70-4号
入库时间 2022-08-23 10:17:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-25
授权
授权
2018-08-10
著录事项变更 IPC(主分类):B25J 9/16 变更前: 变更后: 申请日:20160803
著录事项变更
2018-08-10
著录事项变更 IPC(主分类):B25J 9/16 变更前: 变更后: 申请日:20160803
著录事项变更
2017-03-15
著录事项变更 IPC(主分类):B25J9/16 变更前: 变更后: 申请日:20160803
著录事项变更
2017-03-15
著录事项变更 IPC(主分类):B25J9/16 变更前: 变更后: 申请日:20160803
著录事项变更
2017-03-15
著录事项变更 IPC(主分类):B25J 9/16 变更前: 变更后: 申请日:20160803
著录事项变更
2017-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):B25J9/16 申请日:20160803
实质审查的生效
2017-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):B25J9/16 申请日:20160803
实质审查的生效
2017-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):B25J 9/16 申请日:20160803
实质审查的生效
2017-01-11
公开
公开
2017-01-11
公开
公开
2017-01-11
公开
公开
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机译: 定位系统,检测装置,定位装置,用于定位系统的定位方法,用于检测装置的检测方法,用于定位装置的定位方法,用于检测装置的检测程序,以及用于定位装置的定位程序
机译: 定位装置,特别是用于投影曝光系统的定位装置,以及定位装置,借助这种定位装置的方法,
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