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Positioning - device, in particular for a projection exposure system, and positioning - a method by means of such a positioning device -
Positioning - device, in particular for a projection exposure system, and positioning - a method by means of such a positioning device -
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机译：定位装置，特别是用于投影曝光系统的定位装置，以及定位装置，借助这种定位装置的方法，
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A positioning - device (1) has an actuator (3) for adjusting a position (x) of a component (6) to be positioned on. An output variable (fout) of the actuator (3) has a non-linear dependence on the position (x). For the control of the actuator (3) is a control device (10) is provided, which as a rule, a position unit (11) and a compensation unit (13) comprises. The compensation unit (13) is designed in such a way that, in dependence on the position (x) a compensation - correcting variable (iR) for the control of the actuator (3) is provided, so that the non-linear a function of the output variable (fout) from the position (x) is compensated.
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机译：定位装置（1）具有致动器（3），用于调节待定位的部件（6）的位置（x）。致动器（3）的输出变量（f out ）与位置（x）呈非线性关系。为了控制致动器（3），提供了控制装置（10），该控制装置通常包括位置单元（11）和补偿单元（13）。补偿单元（13）被设计为，根据位置（x），提供用于控制致动器（3）的补偿校正变量（i R ），这样就补偿了位置（x）的输出变量（f out ）的非线性函数。
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