原位观察铁电材料在电场作用前后电畴结构的装置及方法

摘要

本发明公开了一种原位观察铁电材料在电场作用前后电畴结构的装置及方法，该装置主要是在设置有下电极的铁电薄膜的表面生长了一层绝缘层，绝缘层上设置有至少一个电极孔，每个电极孔所包围的铁电薄膜作为一个观察其在电场作用前后电畴结构的观察点。观察时，上电极填入其中一个电极孔，电压施加于该上电极和下电极之间对该上电极所覆盖的铁电薄膜进行极化。本发明能够对铁电薄膜施加不同电压，同时，将上电极设计为容易从电极孔去除的，就能保证铁电薄膜的同一观察点施加不同电压，原位观察到铁电薄膜在不同电场作用前后电畴结构在纵向上的变化情况。