原位观察铁电材料在电场作用前后电畴结构的装置及方法

摘要

本发明公开了一种原位观察铁电材料在电场作用前后电畴结构的装置及方法，该装置主要是在设置有下电极的铁电薄膜的表面微加工了两个上电极，两个上电极之间的距离为L，两个上电极之间的铁电薄膜作为观察点，观察其在电场作用前后电畴结构的变化。电压通过两个上电极施加于两个上电极之间的铁电薄膜，使其极化，本发明能够对铁电薄膜的同一点施加不同的电压，从而原位观察到铁电薄膜在不同电压作用前后铁电薄膜的电畴结构在横向上的变化情况。