法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-24
授权
授权
2017-02-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20150114
实质审查的生效
2017-02-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20150114
实质审查的生效
2016-08-31
公开
公开
2016-08-31
公开
公开
机译: 基于可重复使用子结构的纳米线半导体结构测量模型
机译: 半导体设备模型,包括可重复使用的子结构
机译: 基于可重复使用子结构的纳米线半导体结构测量模型