公开/公告号CN106062238B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-04
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社村田制作所;独立行政法人产业技术综合研究所;
申请/专利号CN201580011354.9
申请日2015-03-02
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人李洋
地址 日本京都府
入库时间 2022-08-23 10:16:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-04
授权
授权
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/06 申请日:20150302
实质审查的生效
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20150302
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
2016-10-26
公开
公开
机译: 氮化铝压电薄膜,其制造方法,压电材料和压电部件以及制造氮化铝压电薄膜的方法
机译: 氮化铝压电薄膜,压电材料,压电部件以及制造氮化铝压电薄膜的方法
机译: 氮化铝压电薄膜,压电材料,压电部件以及氮化铝压电薄膜的制造方法