多晶硅结晶方法、薄膜晶体管及其液晶显示器的制造方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅结晶方法，一种使用该结晶方法的薄膜晶体管制造方法，及其液晶显示器制造方法，这些方法使得能够形成高质量的具有一致取向晶粒的多晶硅层。多晶硅结晶方法包括：第一步骤，在一个衬底上形成多晶硅层；第二步骤，除了一部分具有特定取向的晶粒以外，使多晶硅层的晶粒成为非结晶的；和第三步骤，使用具有特定取向的晶粒使多晶硅层结晶，其中，使具有特定取向的晶粒在相对于基板垂直的方向排列，其中利用微多晶硅形成第一步骤中的多晶硅层，在第二步骤中进行硅离子注入。