一种制造电子气背势垒氮化镓异质结场效应管的方法

摘要

本发明是一种制造电子气背势垒氮化镓异质结场效应管的方法，其特征是为场效应管栅电极下的内沟道和栅电极外的外沟道独立设计不同的异质结构，使大射频栅压变动下外沟道中始终保持足够的电子气密度，利用电子负电荷来产生背势垒，抑制器件射频工作中外沟道的能带畸变和沟道堵塞。然后减薄势垒层制作内沟道异质结，提高栅电极对内沟道电导的控制力度，实现高效的射频工作。通过自洽求解二维泊松方程和薛定谔方程研究内、外沟道的相互作用，抑制器件射频工作中的能带畸变和电流崩塌。平衡内、外沟道的电场分布，提高击穿电压。