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具有交错的垂直栅极的3D NAND非易失性存储器

摘要

一种存储器装置包括数个叠层的导电条、位于数个叠层的导电条上面并正交于数个叠层的导电条的字线、垂直栅极柱以及控制电路。字线电性耦接至垂直栅极柱,用于作为控制这些叠层的导电条中的电流流动的栅极。字线包括彼此相邻的第一字线及第二字线。垂直栅极柱在这些叠层的导电条之间。垂直栅极柱包括电性耦接至第一字线的第一组垂直栅极柱以及电性耦接至第二字线的第二组垂直栅极柱。第一组垂直栅极柱相对于第二组垂直栅极柱交错。控制电路控制字线作为栅极以控制这些叠层的导电条中的电流流动,并控制非易失性存储器操作。

著录项

  • 公开/公告号CN105448928B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-06-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 旺宏电子股份有限公司;

    申请/专利号CN201510344392.8

  • 发明设计人 吕函庭;

    申请日2015-06-19

  • 分类号H01L27/11582(20170101);H01L27/11573(20170101);H01L27/11565(20170101);H01L27/11568(20170101);H01L27/1157(20170101);H01L29/423(20060101);H01L23/528(20060101);H01L29/792(20060101);H01L21/28(20060101);H01L21/768(20060101);H01L21/336(20060101);G11C16/08(20060101);G11C16/26(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人宋焰琴

  • 地址 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号

  • 入库时间 2022-08-23 10:13:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-12

    授权

    授权

  • 2016-04-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/115 申请日:20150619

    实质审查的生效

  • 2016-03-30

    公开

    公开

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