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图形缺陷检查装置及图形缺陷检查方法

摘要

本发明提供一种对荧光体涂布图形没有影响、以高灵敏度自动地检测在等离子体显示面板等的玻璃基板上形成的荧光体的印刷缺陷,并且,可以容易地设置在面板的制造生产线上、实现低价格、高速度的缺陷检查的图形缺陷检查方法。将形成在基板上的荧光体的带状图形进行摄像,根据通过摄像获得的图象信号检测上述荧光体的带状图形的方向,根据上述图象信号对与上述图形的方向相关联的至少两个部位的图象数据进行比较,根据上述比较结果检测上述图形缺陷构成的图形缺陷检查方法。

著录项

  • 公开/公告号CN1278118C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2006-10-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社日立国际电气;

    申请/专利号CN03159837.4

  • 发明设计人 渡贯明男;

    申请日2003-09-26

  • 分类号G01N21/88(20060101);G01N21/64(20060101);G01M11/00(20060101);H01J9/42(20060101);

  • 代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人黄剑锋

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:02

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-11-10

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/88 授权公告日:20061004 终止日期:20160926 申请日:20030926

    专利权的终止

  • 2006-10-04

    授权

    授权

  • 2006-10-04

    授权

    授权

  • 2004-07-07

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-07-07

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-05-05

    公开

    公开

  • 2004-05-05

    公开

    公开

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