公开/公告号CN1278118C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-10-04
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立国际电气;
申请/专利号CN03159837.4
发明设计人 渡贯明男;
申请日2003-09-26
分类号G01N21/88(20060101);G01N21/64(20060101);G01M11/00(20060101);H01J9/42(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人黄剑锋
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 08:59:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/88 授权公告日:20061004 终止日期:20160926 申请日:20030926
专利权的终止
2006-10-04
授权
授权
2006-10-04
授权
授权
2004-07-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-07-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-05-05
公开
公开
2004-05-05
公开
公开
查看全部
机译: 缺陷检查装置,缺陷检查程序,存储缺陷检查程序的记录介质,图形绘制装置和图形绘制系统
机译: 电路图形的缺陷检查装置和缺陷检查方法
机译: 电路图形缺陷和缺陷检查装置的检查方法