公开/公告号CN105590877B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社思可林集团;
申请/专利号CN201510765872.1
发明设计人 山田亮;
申请日2015-11-11
分类号
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人曹晓斐
地址 日本京都
入库时间 2022-08-23 10:11:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-25
授权
授权
2016-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20151111
实质审查的生效
2016-05-18
公开
公开
机译: 带电粒子束描画装置以及带电粒子束描画数据生成装置
机译: 区域束形检测系统,电荷体射线照相装置,电子线描画装置及其电子线描画方法
机译: 带电粒子束描画装置,将光束入射角调整到样品表面的方法以及带电粒子束描画方法