基底剥离装置、剥离基底的方法及制造显示装置的方法

摘要

提供了一种基底剥离装置、一种剥离基底的方法以及一种用于制造显示装置的方法。将具有功率密度的激光提供给基底结合体。所述基底结合体包括第一基底和结合到第一基底的第二基底。将第二基底与第一基底分离。测量与第二基底分离的第一基底的光学性质。基于第一基底的光学性质调节激光的功率密度。