CVD金刚石膜剥离后基底渗铬层的表面形态

摘要

研究了CVD金刚石剥离后基底渗铬层的表面形态以及金刚石的背面形貌。结果发现,以渗铬层为基底在600～900℃之间进行CVD金刚石薄膜沉积后,渗铬层的铬碳化合物层和铬扩散层的厚度都增加了;白亮层的铬浓度比沉积前低;渗铬层硬度梯度因铬的扩散而变得比金刚石沉积前更平缓。