硬质合金表面渗硼处理对CVD金刚石涂层形成的影响

摘要

采用渗硼工艺对ＹＧ６硬质合金表面进行预处理，探讨了渗硼预处理对硬质合金金刚石薄膜涂层形成的影响。研究结果表明，渗硼时Ｃｏ在硬质合金表面同Ｂ形成ＣｏＢ、Ｃｏ２Ｂ化合物层。该硼化物层在金刚石沉积过程中，能有效阻挡硬质合金中粘结相Ｃｏ向表面扩散，消除了Ｃｏ对金刚石薄膜涂层形成时的不利影响，改善了薄膜涂层质量，提高了附着力。