用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用

摘要

本发明适用于金刚石合成技术领域，提供了一种用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用。所述籽晶托盘置于微波等离子体化学气相沉积装置的水冷台上，所述籽晶托盘中心开设有用于放置籽晶的穿孔。所述用于金刚石单晶同质外延的基台组件，包括水冷台和设置在所述水冷台上的籽晶托盘，所述籽晶托盘为上述的用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘。