一种校正电子显微镜电子束与晶圆位置偏差的方法

摘要

本发明公开了一种校正电子显微镜电子束与晶圆位置偏差的方法，包括：在晶圆上的不同区域选定测试芯片，以每个测试芯片的起始点位置为坐标原点，在测试芯片旁的切割道上标定出X、Y方向刻度，并在电子显微镜中分别设定坐标系统，使电子显微镜电子枪自动对准各测试芯片的起始点发射电子束进行定位，并根据设定好的坐标系统直接读出各定位点在X、Y方向上的偏移值，对各偏移值进行平均，并将偏移平均值自动更新到偏移量校正值中进行补偿，使得电子显微镜电子束和晶圆之间的相对位置始终保持在较好的状态。