法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01P15/18 授权公告日:20180410 终止日期:20190326 申请日:20150326
专利权的终止
2018-04-10
授权
授权
2015-08-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/18 申请日:20150326
实质审查的生效
2015-07-08
公开
公开
机译: 微机械压电三轴陀螺仪和基于叠层的横向重叠传感器(槽)的三轴加速度计
机译: 微机械压电三轴陀螺仪和基于叠层的横向重叠传感器(槽)的三轴加速度计
机译: 3- 3-基于三轴加速度计的微机械压电三轴陀螺仪和叠置的横向重叠传感器槽