液晶玻璃基板的化学抛光方法及化学抛光装置

摘要

本发明提供一种能使液晶玻璃基板循环再利用、对于液晶玻璃基板进行化学抛光的方法及化学抛光装置。所使用的化学抛光液由氢氟酸及其盐的混合液(其中的氢氟酸盐为氟化铵、氟化钾和氟化钠中的任一种或者多种)，盐酸、硫酸、磷酸和硝酸等无机酸的一种或多种，醋酸和琥珀酸等有机酸的一种或者其混合物，磺酸盐类阴离子表面活性剂以及胺类两性表面活性剂组成。