易于气相动力学平衡的石墨烯化学气相法制备炉体装置

摘要

本发明公开了一种易于气相动力学平衡的石墨烯化学气相法制备炉体装置，主要由炉体及其进气口和出气口组成，炉体为球形炉体。该装置完全抛弃了传统直管型真空炉的结构，创新运用球形炉体，将炉膛由原有的圆柱结构改变为弧形结构，因而炉膛内气体流动也由线性变为非线性流动方式。同时，本发明结合进气口和出气口的布置，可以实现对化学气相法制备石墨烯的气相动力学控制，解决了直管型真空炉炉体内气体径向、线性气流所引起的基底材料表面边界层的气相动力学平衡问题及其影响石墨烯质量的难题，实现了石墨烯化学气相法制备的气相动力学控制和平衡，进而高质量地制备石墨烯。